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熱質量流量計基于加熱表面到流動流體的對流熱傳遞來測量氣體質量的流量。基本熱質量流量計的組件包括兩個溫度傳感器，它們之間有一個電加熱器。加熱器可以伸入流體流中，也可以在管道外部。
過去，質量流量通常是根據體積流量計和密度計的輸出來計算的。密度可以直接測量，也可以使用過程溫度和壓力變送器的輸出來計算。
這些質量流量測量不是很準確，因為過程壓力或溫度與密度之間的關系并不總是很精確-每個傳感器都會在整體測量誤差中加上自己的獨立誤差，并且這種計算的響應速度通常不大足以檢測流量的階躍變化。
質量流量計的運行方式是將已知量的熱量引入流中并測量相關的溫度變化，或者將探頭保持在恒定溫度并測量所需的能量。
如果熱流量計在恒定溫差模式下運行，則可提供較高的量程比(10：1至100：1)。或者，如果熱量輸入是恒定的，則檢測非常小的溫差的能力將受到限制，并且精度和量程比都會下降。在正常流量下，測量誤差通常在滿量程的1-2%范圍內。
高精度超聲波流量計水表
熱質量流量計通常用于監視或控制與質量有關的過程，例如取決于未反應成分的相對質量的化學反應，例如配方，材料平衡確定以及開票和保管轉移操作。由于這些是加工廠中最關鍵的流量測量，因此質量流量測量的可靠性和準確性非常重要。
熱質量流量計通常用于監視或控制與質量有關的過程，例如取決于未反應成分的相對質量的化學反應。在檢測可壓縮蒸氣和氣體的質量流量時，測量不受壓力和/或溫度變化的影響。熱質量流量計的功能之一是精確測量低氣體流速或低氣體流速(每分鐘25英尺以下)，遠低于任何其他設備所能檢測到的水平。
如果熱流量計在恒溫差模式下運行，則可提供較高的量程比(10：1至100：1)。另一方面，如果熱量輸入是恒定的，則檢測非常小的溫差的能力將受到限制，并且精度和量程比都會下降。在正常流量下，測量誤差通常在滿量程的1-2%范圍內。
該傳感器可用于高壓和高溫設計，以及特殊材料，包括玻璃，蒙乃爾合金和PFA。流通式設計用于測量純凈物質的小流量(如果是純凈氣體，則熱容量恒定)，而旁路和探針式設計則可以檢測管道，火炬煙囪和干燥器中的大流量。
熱質量流量計最常用于調節低氣流。它們的運行方式是將已知量的熱量引入流動的流中并測量相關的溫度變化，或者將探頭保持在恒定溫度下并測量這樣做所需的能量。基本熱質量流量計的組件包括兩個溫度傳感器和一個位于它們之間的電加熱器。加熱器可以伸入流體流中，也可以在管道外部。
維持溫度差所需的功率與質量流量成正比。根據測得的溫度差(T1-T2)，儀表系數(k)，電熱率(q)和流體的比熱(Cp)計算質量流量(m)。這是公式：
M = Kq /(Cp(T1-T2))
